株式会社 テックサイエンス
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 形状測定装置 仕様・構成ページ Sneox ・ PluApex  ・ Slynx


Sensofarの形状測定装置
高速3D形状測定装置 Sneox
仕様
対物レンズ倍率と仕様
明視野 Brightfield 干渉法 Interferometric
倍率 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X 150X 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
NA 0.075 0.15 0.30 0.45 0.80 0.90 0.95 0.075 0.13 0.30 0.40 0.55 0.70
WD (mm) 6.5 23.5 17.5 4.5 1.0 1.0 0.2 10.3 9.3 7.4 4.7 3.4 2.0
FOV1 (μm) 7016x5280 3508x2640 1754x1320 877x660 351x264 175x132 117x88 7016x5280 3508x264 1754x1320 877x660 351x264 175x132
Spatial sampling2 (μm) 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13 0.09 5.16 2.58 1.29 0.65 0.26 0.13
Optical resolution3 (μm) 1.87 0.93 0.46 0.31 0.17 0.15 0.14 5.16 2.58 1.29 0.65 0.25 0.20
時間 <3s <3s
共焦点 PSI /ePSI / VSI
Vertical solution(nm) 300 75 25 8 3 2 1 PSI/ePSI 0.1nm (0.01nm with PZI) VSI 1nm
最大傾斜角(°) 3 8 14 21 42 51 71 3 8 14 21 25 42
   
全焦点
最小粗さ    Sa >10nm
最大傾斜角(°) 86°
仕様
測定アレイ 1360x1024pixels
LED光源 red green blue white
   
XYサンプルサイズ  <700x600mm
サンプル高さ <40mm <150mm(option)
Z travel range 40mm
Z stage linearity <0.5um/mm with linear stage: <30nm/100um with piezo stage
Z stage resolution 2nm with linear stage: 0.75nm with piezo stage
   
測定高さ 40mm with linear stage : 200um with piezo stage
高さ走査 焦点移動法<37mm 共焦点<37mm 共焦点 <10mm
ステップ高さ精度 0.5%
サンプル反射率 0.05-100%
display resolution 0.01nm
computer latest INTEL processor 2560x1440 pxl resolution
OS Windows8.0 64bit
system 100-240V AC 50/60Hz <2000m
weight 41kg 本体
Sneox装置サイズ 標準架台サイズ 調整つき架台サイズ
コントローラー  
記載されている仕様・型番は予告なく変更することがあります

非球面レンズ 非接触形状測定装置 PLuApex
仕様
ステージ移動幅 XY:100x100mm   Z:50mm
測定高さ Z <50mm
測定幅 XY <0.1-100mm
測定スピード 0.01-1mm/s
分解能 X: 1nm Z:0.5nm
ステージ垂直度 1nm
ノイズ <0.1nm
曲率測定精度 <0.01%
形状測定精度 <100nm
CCDカメラ 768x576 pxl
光源 greenLED
対物レンズ倍率 x10-x100
システムサイズ 550x580x770mm air compressor power: 115/230VAC
除振台 Passive air isolation
使用環境 温度 20℃ 湿度 50%
対応OS Windows7 マルチランゲージユーザーI/F
サンプルサイズ 重量<15Kg 高さ<50mm
システム重量 30kg

対物レンズ仕様 ワーキングディスタンス NA 最大傾斜角
50x 0.95 0.3mm 0.95 +/- 65°
100x EPI 1.0mm 0.90 +/- 60°
100x ELWD 4.5mm 0.80 +/- 45°
100x SLWD 10.0mm 0.60 +/- 35°
PluApex装置サイズ Apex_dimensions

コンパクト1台3役3D形状状測定装置 Slynx
仕様
測定アレイ 1360x1024pixels
LED光源 白色 (lifetime 40000h)
XY travel range 150mmx100mm (6"x4")
XY stage 250mmx200mm
手動ゴニオメーター +/-3°
サンプル重量  <10kg
サンプル高さ <150mm
Z travel range 40mm
Z stage linearity <0.5um/mm
Z stage resolution 2nm
測定高さ 焦点移動法<25mm 共焦点<36mm 共焦点 <7mm
step height repeatability ,3nm
サンプル反射率 0.05-100%
display resolution 0.01nm
computer latestINTEL processor 2560x1440 pxl resolution
OS Windows8.0 64bit
system 100-240V AC 50/60Hz <2000m
weight 26kg
Slynx装置サイズ Slynx_dimensions
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