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  電子振動型イオン源  

PSP 社製電子振動型イオン源ISIS3000は、差動排気系を使用せずに高真空( 5x10-6 mbar)での動作が可能なイオン源です。ビーム径が10mmと大きく、ビーム電流値が15μA@1000eVと高いこと、小型で低価格が特徴です。
プロセスガスは、イオンが100〜3000eV間の選択されたエネルギーで形成される放電円筒容器に直接導入されます。フィラメントより発生した電子は、放電円筒内で振動しながら導入ガスと衝突してイオンを生成し、そのイオンはフォーカスレンズ系を経由して試料に照射されます。


イオンビーム径は約10mmで、試料表面のクリーニング用途にご使用頂けます。

電子振動型イオン源
電子振動型イオン源

主な仕様
ビームエネルギ: 100〜3keV
ビーム径: 10mm
取付フランジ: ICF70
ガス導入フランジ: ミニコンフランジ
最高脱ガス温度: 200ºC
電子振動型電子源 仕様

特  徴

  • 差動排気系が不要
  • イオン作成に電子振動式を採用
  • 長い動作距離(最大310mm)
  • UHV対応
  • 高いビーム電流値(1keVにおいて15µA)
  • 大きいビーム径: 10mm
メーカーリンク: PSP Vacuum Technology
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