株式会社 テックサイエンス
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  イオン源の比較一覧

用途に応じたイオンソース、イオン源、イオン銃の比較仕様をご紹介します

製品名 高エッチング速度イオン源     IONECスパッタイオン銃     電子振動型イオンソース   
型式    NTI1401 IG70 ISIS3000

ビームエネルギー

5-5000eV 0-3000eV 100-3000eV
ビーム電流 20μA(5keV) 15μA(3keV) 15μA(1keV)
電流密度 50mA/cm2 0.08mA/cm2 0.02mA/cm2
ビーム径 50μm-0.4mm 5-10mm 10mm
動作範囲 5mm-250mm 150-320mm 50-150mm
取付フランジ ICF70 ICF70 ICF70

作動排気フランジ

ICF70

ICF70(option)

不要

ガス導入フランジ ICF34 ICF34 ICF34
ラスター範囲 7mm角 Option  
磁石 なし あり なし
用途 深さ方向エッチング 表面クリーニング 表面クリーニング
              

電子振動型イオン源

型式は代表的なものを表記しています。ほか型式は製品ページをご参照ください。

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