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  オージェ用電子銃  ELS5000

ELS5000はPSP社製のスタティックオージェ用電子銃です。ビームエネルギーが0〜5000eVで、ビーム電流値は最大300µAまで取ることができます。スポット径が50µmの場合に1µA、100µmの場合に20µAの電流強度が得られます。ビーム位置はXY偏向可能です。

オージェ用電子銃
ELS5000 オージェ用電子銃

主な仕様
ビームエネルギー: 0-5keV
ビーム電流値: 10nm-300µA
取付フランジ: ICF70
ELS5000オージェ用電子銃 仕様

特  徴

  • 最大ビーム電流値: 300µA
  • 最大エネルギー: 5keV
  • ビーム径<50µmでビーム電流値1µA
  • フィラメント交換,調整が容易
メーカーリンク: PSP Vacuum Technology
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