株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS

2017年2月
■高品質AFMのナノオブザーバーにサーマルプローブを搭載してより精細なサーマルマッピングができます。
サーマル3Dマッピングのデータ

■2013年12月 新製品のサーマルプローブとAFMナノ熱分析測定装置を販売します

AFMプローブ
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です


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  走査型ナノサーマル顕微鏡

ナノIR熱分析測定装置
AFM-IRの熱電対サーマルプローブ

走査型熱顕微鏡SThMにつかうサーマルプローブとナノ領域熱分析測定装置をお手持ちのAFMに追加してサーマルAFMを構築できます。またナノオブザーバーAFMと組み合わせた走査型ナノサーマル顕微鏡をご提供します。高精度温度マッピングと熱伝導性マッピングを3Dで表示できます。より高精度な半導体デバイスの不良解析が可能です。
特長
●正確なナノスケール温度測定
●空間分解能 20nm まで可能
●先端温度700℃まで高精度測定
●熱伝導性マッピングと温度マッピング


ナノオブザーバー環境設定加熱雰囲気

ナノサーマル顕微鏡 Nano-IR

ナノオブザーバーAFMにナノ熱分析測定装置を組込んでより高精細測定が可能となりました。

殆どのAFMに組込むことができます。


サーマルプローブ

熱電対サーマルプローブVTP

ナノスケールで高分解能の温度マッピングと熱伝導性マッピング

特長
・プローブチップの先端に熱電対センサー
・埋め込み式熱電対で長寿命
・センサー周囲は熱ロスをなくした絶縁構造
・サンプルからプローブまでの熱ロスを
 最小 にできるメタル埋め込み構造
・配置した冷接点が正確な温度を計測
・校正サービスあり


サーマルイメージング用アンプ

サーマルイメージングのアンプ

●殆どすべてのAFMに対応
●リアルタイム温度表示
●低ノイズ・ハイスピードのアンプ
●コンタクトモードとタッピングモード

応用
●ナノ薄膜特性                ●熱伝導性のマッピング
● 半導体デバイスの不良解析       ●フォトレジストの温度マッピング   
●微粒子の温度分析             ●結晶構造の熱分析       ●医薬品の分析


サーマルプローブVTP-200仕様
パラメーター 公称値 最小値 最大値
バネ定数(N/M) 9.9 3.0 24.9
周波数(kHz) 107 67 153
長さ(μm) 200 190 210
幅(μm) 50 45 55
厚さ(μm) 3.5 2.5 4.5

サーマルプローブVTP-500仕様
パラメーター 公称値 最小値 最大値
バネ定数(N/M) 0.63 0.21 1.45
周波数(kHz) 17 11 23
長さ(μm) 500 490 510
幅(μm) 50 45 55
厚さ(μm) 3.5 2.5 4.5

酸化膜を熱プローブで画像化


鉄含有シリコンヒーターにイオンビームで傷をつけ、酸化状態を観測した

左図は形状測定による

右図は10nmの酸化膜を熱プローブで測定できる

熱伝導率の対比

左図:形状測定像

右図:熱伝導特性の位相像

材料はエポキシにカーボンファイバーを埋め込んで研磨したサンプル

画像サイズ 25x25um

カーボンナノフィルムのサーマルイメージ対比
左図: 形状測定図

右図:熱位相像

材料: Bi2Te3:Carbon Nanocrystalline

微結晶と結晶粒界にある熱伝導特性の違いを検知した位相像

サーマル顕微鏡で形状と温度マッピング



シリコンヒーターをサーマル顕微鏡で測定
形状と温度マッピングを重ねて表示


単位 ミクロン

サーマル顕微鏡で形状と導電性マッピング





シリコンヒーターをサーマル顕微鏡で測定
形状と導電性マッピングを重ねて表示

単位 ミクロン

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