株式会社 テックサイエンス
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APP社 AFM/SPM用プローブ・カンチレバー
原子間力顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡用

 
ノンコンタクトとコンタクトモードから抜粋
ノンコンタクトタッピングモードプローブ ロングノンコンタクト
タッピングモードプローブ
ソフトロングノンコンタクト タッピングモードプローブ フォースモジュレーションモードプローブ
ショートコンタクトモードカンチレバー コンタクトモードカンチレバー
チップ観察ACCESSシリーズ  ノンコンタクトタッピングモード  

ACTプローブはシリコン/ノンコンタクトのプローブです。
仕様
は以下のとおりです
種類・型式から探すページからお見積りをご依頼ください

基本仕様
長さ 
ばね定数
周波数
オプション
シリコン製
長方形

125μm
40 N/M
300kHz
ACTA,ACT-SS,ACT-TL

型式の一例です ノンコンタクト カンチレバー背面のコーティング
ACT
標準プローブ 
なし
ACTA
標準プローブ     
アルミコート反射面 30±5nm     
ACTA-SS
超シャーププローブ  アルミコート反射面、 チップ先端半径2nm
ACTA-TL
チップレスプローブ        アルミコート反射面
ACT-SS
超シャーププローブ      
なし、チップ先端半径2nm
ACT-TL
チップレスプローブ     なし

パラメーター 公称値 最小値 最大値
バネ定数(N/M) 40 25 75
周波数(kHz) 300 200 400
長さ(μm) 125 115 135
幅(μm) 35 30 40
厚さ(μm) 4.5 4 5

プローブACT

ACモード用の非接触、タッピングモード
大気・液中に対応

ドープしたダイヤモンドプローブ
ドープしたダイヤモンドプローブ
ROC 100-300nm

プローブprobe_ACCESS
チップの先端がカンチレバーより突出しているため、先端を上から視認できますマニピュレーションなどに利用できます
プローブprobe-SuperSharp
スーパーシャープ プローブ  高解像度用
高さ  14-16um
ROC  1-2nm


プローブprobe_コロイダル

コロイダルプローブは2面間の相互作用を測定します
プローブprobe_UHF高周波数

UHFプローブは高周波(1250kHz)で高分解能の測定
ができます。 高さは 4-6um、チップ先端半径10nm
ボールプローブ

ボールプローブの先端は高密度カーボン皮膜で ハードコンタクトに採用されます
プローブprobe_PTU

台形プローブは先端がフラットで接触面を確保します

プローブカンチレバーウェハ

AppNano特許取得の高密度ウエハ

プローブカンチレバーウエハの拡大図
従来のウエハはピンセットで傷つけずにはがすには
経験が必要で簡単ではありませんでした。AppNano
の開発したウエハは傷つけずに切り取ることができる
形状になりました。
力を必要とせずにきれいに取り出せます。
高密度で使いやすさを追求した独自のカンチレバーウエハは特許を取得しました。
高品質なウエハチップの価格対効果を大幅に増大させます。


   













 

AFMプローブ 仕様一覧表
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シリコンプローブ

型名 主な用途 接触 背面 チップ 液中 カンチレバー   周波数 バネ定数 材質 チップ   先端 先端半値角度 チップ
      コート コート   長さ 厚さ       形状 高さ 半径 正面 側面 傾斜角
            μm μm μm kHZ N/m     μm nm °
°
 
ACT   NC     125 35 4.5 300 40 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACTA   NC Al   125 35 4.5 300 40 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACTG   NC Au   125 35 4.5 300 40 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACTGG   NC Au Au 125 35 4.5 300 40 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
ACT-TL   NC     125 35 4.5 300 40 Si            
ACTA-TL   NC Al   125 35 4.5 300 40 Si            
ACL Long NC     225 40 8.5 190 45 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACLA Long NC Al   225 40 8.5 190 45 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACLG Long NC Au   225 40 8.5 190 45 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACLGG Long NC Au Au 225 40 8.5 190 45 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
ACL-TL Long NC     225 40 8.5 190 45 Si            
ACLA-TL Long NC Al   225 40 8.5 190 45 Si            
ACST Soft NC     150 28 2.5 150 7 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACSTA Soft NC Al   150 28 2.5 150 7 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACSTG Soft NC Au   150 28 2.5 150 7 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
ACSTGG Soft NC Au Au 150 28 2.5 150 7 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
ACST-TL Soft NC     150 28 2.5 150 7 Si            
ACSTA-TL Soft NC Al   150 28 2.5 150 7 Si            
FORT Force       O 225 30 3 60 3 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
FORTA Force   Al   O 225 30 3 60 3 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
FORTG Force   Au   O 225 30 3 60 3 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
FORTGG Force   Au Au O 225 30 3 60 3 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
FORT-TL Force       O 225 30 3 60 3 Si            
FORTA-TL Force   Al   O 225 30 3 60 3 Si            
SHOCON Contact C     O 225 43 1 28 0.1 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SHOCONA Contact C Al   O 225 43 1 28 0.1 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SHOCONG Contact C Au   O 225 43 1 28 0.1 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SHOCONGG Contact C Au Au O 225 43 1 28 0.1 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
SHOCON-TL Contact C     O 225 43 1 28 0.1 Si            
SHOCONA-TL Contact C Al   O 225 43 1 28 0.1 Si            
SICON Contact C     O 450 40 2.5 12 0.2 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SICONA Contact C Al   O 450 40 2.5 12 0.2 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SICONG Contact C Au   O 450 40 2.5 12 0.2 Si ピラミッド 14-16 6 31 9  
SICONGG Contact C Au Au O 450 40 2.5 12 0.2 Si ピラミッド 14-16 30 31 9  
SICHON-TL Contact C     O 450 40 2.5 12 0.2 Si            
SICHONA-TL Contact C Al   O 450 40 2.5 12 0.2 Si            
UHF-1250 Fast       ? 25 10 1 1250 12 Si 矩形 4-6 10      
UHFA-250 Fast   Al   ? 25 10 1 1250 12 Si 矩形 4-6 10      
ACT-SS Sharp         125 35 45 300 40 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
ACL-SS Sharp         225 40 8.5 190 45 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
ACST-SS Sharp         150 28 2.5 150 7 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
FORT-SS Sharp         225 30 3 60 3 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
SHOCON-SS Sharp         225 43 1 28 0.1 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
SICON-SS Sharp         450 40 2.5 12 0.2 Si 矩形 14-16 1-2 31 9  
ACCESS Direct View         160 54 5 300 45 Si 矩形 14-16 <10 11 15 17
ACCESS-FM Direct View         245 52 3 60 3.8 Si 矩形 14-16 <10 11 15 17
ACCESS-EFM Conductive         245 52 3 60 3.8 Si 矩形 14-16 30 11 15  

窒化シリコンプローブ

型名 主な用途 接触 液中 カンチレバー               チップ        
        形状 材質 背面 長さ 厚さ 周波数 バネ定数 形状 材質 コート 高さ 先端半径
            コート μm μm μm kHZ N/m       μm nm
HYDRA2R-50N フォース距離 NC/C
矩形 低ストレスSiN Non/G/GG 50 35 0.2 77 0.084 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA2R-100N フォース距離 NC/C
矩形 低ストレスSiN Non/G/GG 100 35 0.2 21 0.011 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6R-100N フォース距離 NC/C
矩形 低ストレスSiN Non/G/GG 100 35 0.6 66 0.284 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6R-200N フォース距離 NC/C
矩形 低ストレスSiN Non/G/GG 200 35 0.6 17 0.035 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6V-100N フォース距離 NC/C
V形 低ストレスSiN Non/G/GG 100 18 0.6 66 0.292 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6V-100W フォース距離 NC/C
V形 低ストレスSiN Non/G/GG 100 25 0.6 67 0.405 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6V-200N フォース距離 NC/C
V形 低ストレスSiN Non/G/GG 200 22 0.6 17 0.045 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA6V-200W フォース距離 NC/C
V形 低ストレスSiN Non/G/GG 200 40 0.6 17 0.081 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
HYDRA-All 4チップ/1カンチレバー NC/C
矩形 低ストレスSiN                      
-6V-100N  Lever A NC/C
矩形 低ストレスSiN   100 18 0.6 66 0.292 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
-6V-200N  Lever B NC/C
矩形 低ストレスSiN   200 22 0.6 17 0.045 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
-6V-100W  Lever C NC/C
矩形 低ストレスSiN   100 25 0.6 67 0.405 4面体
Si
Non/G 4-6 <10
-6V-200W  Lever D NC/C
矩形 低ストレスSiN   200 40 0.6 17 0.081 4面体
Si
Non/G 4-6 <10

お問い合わせくださいkotiraアットtechsc.co.jp

 

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