株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2015年8月
μMasch社のカンチレバーを販売します
標準試料リスト 多種の標準試料を販売します


製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

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バイオ表面解析

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AFM/SPM用プローブ・カンチレバー
原子間力顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡の
MikroMaschのプローブ カンチレバー

MikroMasch社(ISB社)のプローブ・カンチレバーはあらゆる用途に対応し、原子間力顕微鏡と走査型プローブ顕微鏡メーカー各社の型式に対応できます。プローブ・カンチレバーの専門メーカーとして歴史と信頼の高品質製品をご提供します。すぐれた低フォースプローブが評価されています。
15本セットから400本セットまであります。標準試料を多種用意しています。4レバータイプまで作製します。


マイクロマッシュ(ISB)社はのAFM/SPMプローブの専門メーカーとして20年の実績があります。ほかで見つからない形状が見つかります。
主要AFM/SPMメーカーすべてに対応できる用意があります。

□Nanosurfナノサーフ 
□Brukerブルカー    
□Seikoセイコー  
□Agilent アジレント    
□Asylumアサイラム   
□Jeol日本電子      
□JPK 
□Novascan  
□NT-MDT         
□Park systemパークシステム

プローブカンチレバー

用途とコーティング仕様  
種目別 応用 チップ種類 チップコート種類と厚さ チップ先端半径nm カンチレバーの
背面コート
高分解能   高分解能 スーパーシャープ Al 50nm spike not coated 〜 1 nm Cr-Au 50nm
ロング走査 汎用 標準 コートなし なし < 10 nm  none, Al 30 nm or  Au 50 nm
硬質 ロング走査 標準 コートあり DLC, 20 nm < 20nm Al 30nm
低ノイズ電気測定 導電性 標準 コートあり Pt 50 nm < 40nm Pt 50nm
高分解能/電気測定?   標準 コートあり Pt 15 nm < 20nm Pt 15nm
導電性 Ptコート   標準 コートあり Pt 30 nm < 30nm Pt 30nm
導電性Cr-Auコート   標準 コートあり Cr-Au 50 nm < 35nm Cr-Au 50nm
導電性Co-Crコート 磁性 標準 コートあり Co-Cr 90nm < 60nm Al 30nm
チップレス   N/A none, Al 30 nm or Cr-Au50 nm N/A none, Al 30 nm or Cr-Au 50nm

  標準段差試料 GRATINGS シリーズ標準試料リスト  
製品 用途 主な仕様 部品番号  
PA01 チップ標準特性試料 硬質シャープピラミッド型 最小エッジ 半径<5nmx5x5mm 12mm基板マウント PA01  
硬質シャープピラミッド型 最小エッジ 半径<5nmx5x5mm 基板なし PA01/NM  
TGF11 水平圧力校正および走査性評価試料 台形構造アレイ 5x5mmチップ 12mm基板マウント TGF11  
台形構造アレイ 5x5mmチップ 基板なし TGF11/NM  
TGX チップ縦横比判定と SPMの水平校正 アンダーカットエッジ構造 5x5mm 12mm基板マウント TGX  
アンダーカットエッジ構造 5x5mm 12mm基板なし TGX/NM  
TGXYZ01 SPMの校正 20nm Step Height アレイ構造 20nm高さ  ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 12mm基板マウント TGXYZ01  
アレイ構造 20nm高さ  ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 基板なし TGXYZ01/NM  
TGXYZ02 SPMの水平 垂直校正 100nm Step Height アレイ構造 高さ100nm ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 12mm基板マウント TGXYZ02  
アレイ構造 高さ100nm ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 基板なし TGXYZ02/NM  
TGXYZ03 SPMの水平 垂直校正 500nm Step Height アレイ構造 高さ500nm ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 12mm基板マウント TGXYZ03  
アレイ構造 高さ500nm ピッチ5μm, と10μm の5x5mmチップ 基板なし TGXYZ03/NM  

代表的なモードと仕様
16シリーズ ノンコンタクトモード
mark_1leveruncoated ロング走査 タッピングモード f = 190 kHz, K = 45 N/m, L = 225 μm, R < 10 nm
No tipside coating, Al backside coating
17シリーズコンタクトモード
mark_1leveruncoated コンタクトモード f = 13 kHz, K = 0.18 N/m, L = 450 μm, R < 10 nm
No tipside coating, Al backside coating
18シリーズ ノンコンタクトフォースモジュレーション
mark_1leveruncoated Standard Force Modulation AFM Probe
f = 75 kHz, K = 2.8 N/m, L = 225 μm, R < 10 nm
No tipside coating, Al backside coating
19 シリーズ 1レバー
mark_1leveruncoated Standard Force Modulation AFM Probe f = 65 kHz, K = 0.5 N/m, L = 125 μm, R < 10 nm
No tipside coating, Al backside coating

カンチレバー1レバーから4レバーの共振周波数とバネ定数
cantilever_1lever   3lever    cantilever_4lever          
1レバー             3レバー                 4レバー  

  Series Cantilever 共振周波数 [kHz] バネ定数 [N/m] 長 [µm] 幅 [µm] 厚 [µm]
1 レバー 14 series   160 5 125 25 2.1
15 series   325 40 125 30 4
16 series   190 45 225 37.5 7
17 series   13 0.18 450 50 2
18 series   75 2.8 225 27.5 3
19 series   65 0.5 125 22.5 1
3 レバー 35 series A 205 8.9 110 35 2
  B 300 16 90 35 2
  C 150 5.4 130 35 2
36 series A 90 1 110 32.5 1
  B 130 2 90 32.5 1
  C 65 0.6 130 32.5 1
37 series A 40 0.8 250 35 2
  B 20 0.3 350 35 2
  C 30 0.4 300 35 2
38 series A 20 0.09 250 32.5 1
  B 10 0.03 350 32.5 1
  C 14 0.05 300 35 1
4 レバー 11 series A 15 0.2 500 30 2.7
  B 80 2.7 210 30 2.7
  C 155 7 150 30 2.7
  D 350 42 100 50 2.7

種別マーク
1レバー 1レバー 4レバー 4レバー
導電性 電気特性 DLCコート硬質 DLCコーティング
コーティングなし ピラミッド型コートなし 磁性特性 磁性特性
背面コート Al/Pt/Cr-Au 背面コート 標準試料リスト 標準試料

 

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