株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS

世界的にも初登場の光電子収量分光と逆光電子分光とケルビンプローブ仕事関数の3機種を複合した分析機を開発しました

イオン化ポテンシャルと
仕事関数測定

型式とおもな仕様

仕事関数測定方法の分類

金属・半導体・有機物の真空準位と測定装置の関係図

ケルビンプローブとイオン化ポテンシャルの機能比較

金蒸着膜の仕事関数測定事例

測定事例

仕事関数測定装置走査型ケルビンプローブ


UHVケルビンプローブ

光起電力分光ケルビンプローブ


太陽電池薄膜評価装置一覧

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

材料

バイオ表面解析

熱顕微鏡熱分布測定

測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定

 

走査型ケルビンプローブ  
  仕事関数を高分解能で短時間に測る

仕事関数を高分解能で測定します。走査型ケルビンプローブは、有機EL材料や高分子ポリマー、太陽電池セル、燃料電池など、導電体や半導体表面の吸着状態や金属腐食状態をケルビン法による仕事関数を測定します。高分解能でありながら1測定が10秒以内という短時間で測定できる優位性があります。
微小チップ(0.2-10mm径)が試料上を走査して非接触で仕事関数を測定して三次元像を作成します。
  ケルビンプローブに光照射をして強度と波長の変化と仕事関数を測定する装置として


基板用走査型ケルビンプローブの試料移動距離は200x200x25mm(標準)、300x300x25mm(オプション)となります。大気測定と真空対応の装置があります。
イオン化ポテンシャル測定装置PYSはイオン化ポテンシャルとHOMO準位、フェルミ準位が測 定できます。絶対値仕事関数を求めることができます。
デモ測定承ります。


デモ測定を承ります。 当社にて測定をご覧頂くことができます。

主な用途
・ 太陽電池セル・燃料電池材料・光触媒材料の開発と評価
・ 有機薄膜・OELD膜の仕事関数
・  ITO薄膜表面の汚染・欠陥
・ FDPの検査・品質管理
・ Siウエハーの検査・品質管理
・ 表面の吸着状態,腐食の測定

走査型ケルビンプローブ
走査型ケルビンプローブ

主な仕様
仕事関数分解能: 1-3mV
チップ移動距離 : 25mm
最小移動ステップ幅: 0.6µm

特  徴
  
◆ 試料上のチップが非接触で振動して測定

  チップ径: 0.2mm〜10mm
  容易なチップ交換
  チップ‐試料間の距離をµm〜mm間で指定
  測定範囲(x・y・z): 25x25x25            50x50x25mm(オプション)
  最小ステップ幅: 0.6µm/6µm
  マッピング測定

◆仕事関数の相対値を測る

◆分解能 1meV (チップサイズによる)

◆1測定時間は10秒以内

◆測定エネルギーの制限なし

 

走査型ケルビンプローブ 仕様
測定例
KP_polysilicon
多結晶シリコン太陽電池セルの仕事関数3D表示
金メッキチップ Φ0.3mmを使用
KP_corroded_brass
真鍮板腐食部の仕事関数3D表示
金メッキチップ Φ0.3mmを使用
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