株式会社 テックサイエンス
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エッチング用ガス製品NEWS


2016年10月
300ccアルミニウム容器のストレートバルブ 容量100gの在庫品を特別価格でご提供します。お問い合わせください。


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AFM・STM・SPM

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  XeF2 2フッ化キセノン
エッチング用キャリアガス

Pelchem社は、高純度のXeF2(2フッ化キセノン)を20年以上に渡り製造しています。XeF2は、室温で蒸気圧が4Torrの白色結晶です。半導体技術を応用したMEMS/マイクロマシン分野で、XeF2がSi等方性エッチング用のキャリアガスとして活用されています。また新しい応用分野ではクリーニング触媒としても使われています。


高純度(99.99%)XeF2をバルブ付アルミニウム容器(300cc/1000cc)でご提供します。

2フッ化キセノン
XeF2(2フッ化キセノン)

主な仕様
蒸気圧 500Pa(約4.9Torr) at 25ºC
形状 固体
純度 >99.99%
融点 129℃
容器 バルブつきアルミ容器

特  徴

  • 100g単位で販売します
  • バルブはストレートかアングルを選択できます
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