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測定事例 
高輝度LEDのPSS基板を測定する                      

測定目的 三次元形状測定、サイズ測定
測定対象 PSS基板
  Multi Pin(プラスチック針先端)
測定装置 組込式レンズAFM

PSS測定画像φ4.5um
PSSを AFM機能で測定 φ4.5um  高さ1.25um

PSSをレンズAFMで測定
PSSをレンズAFMで測定

 

 

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