株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2014年9月
表面形状測定装置として触針式段差計のシリーズをそろえました。 触針式段差計の低価格帯
走査範囲の広いNanoMap-LSと
コンパクト段差計NanoMap-PSが加わりました。


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触針式/非接触式3D表面形状測定装置と白色干渉計の1台3役NanoMap-D

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触針式段差計   
コンパクト段差計 NanoMap-PS
ノイズを最小にしたシンプルな段差計

触針式段差計粗さ計NanoMapシリーズのなかのコンパクト段差計は小型、低ノイズ、簡単操作、2次元表示の表面形状測定装置です。AFMに匹敵する低ノイズ化を実現しました。高さ測定範囲は微細レンジで0.5um、粗レンジで1mmあります。サンプルの形状重さに影響を受けないチップ走査方式を採用しています。チップ走査方式で3次元表示ができるNanoMap-500Pをご提供することもできます。持ち運びができる品質管理に最適です。

触針式段差計は微細領域から広域まで用途と予算による選択肢が増えました。

段差計ライン
  型式 走査モード 水平走査長さ
 コンパクト段差計 NanoMap-PS チップ走査 5000um
■ NanoMap標準段差計 NanoMap-LS XYステージ走査 100mm(op620mm)
 NanoMap広域段差計 NanoMap-500LS XYステージ走査+
ピエゾ走査
10um-150mm (op620mm)
 NanoMap大型基板段差計 NanoMap-500ES XYステージ走査+
ピエゾ走査
10um-300mm
 白色干渉計+ 段差計 NanoMap-D XYステージ走査+
ピエゾ走査
-50mm

NanoMap-PS仕 様
Tip走査機構 微細レンジ 粗レンジ
垂直分解能: 0.1nm 20nm
高さ測定範囲: 5um 1mm
水平走査範囲: 10μm 5000μm
XYステージ走査範囲 手動 56x75mm 
Z 駆動範囲 モーター駆動 25mm
触針圧: 0.01mg- 100mg PC上で選択可能
触針先端半径: 標準:5μm,  オプション:0.1-25μm選択可能
最大試料高さ: 25mm
ステージ回転: 360°
解析ソフトオプション SPIPソフトウェア(オプション)
システムの構成 標準段差、ノートパソコン、OS(windows7)、制御ソフト
   

コンパクト触針式段差計 
NanoMap-PS

コンパクト触針式段差計

コンパクト段差計リアルタイム画像表示
  リアルタイムで1画面表示

NanoMap-PSの 特  徴

□ 独自開発のTip走査機構によりAFMに匹敵する低ノイズ化を実現
サンプルの大きさや重さで影響受けない
Tip走査
広い高さ測定ダイナミックレンジ (5um/1o)ソフト制御で触針圧設定(設定範囲:0.01mg-100mg)

高解像カラー
CCDカメラ搭載

ボタン一つで簡単測定


用  途


□平滑表面から粗い機械加工面まで段差と粗さの2次元  測定
□ 薄膜の段差・粗さ測定
□ スクラッチや溝の形状・摩耗・幅 定量測定
□ MEMS・半導体・電子デバイスの表面形状測定
□ 表面欠陥検査

50nm標準段差を測定 15nmステップを測定
47nm標準段差を繰り返し測定
ノイズレベル 2nm
15nm標準段差 繰り返し測定
ノイズレベル 2nm
標準段差計とコンパクト段差計の主な比較
標準段差計NanoMap-LS コンパクト段差計 NanoMap-PS
走査モード
XYステージ走査 チップ走査
垂直分解能
Å@5um 0.1um@500um
0.1nm@5um   20nm@1000um
高さ測定範囲 5um-500um 5um-1000um
水平走査範囲 100mm   option 620mm 5mm
触針圧 0.01mg- 100mg 0.01mg- 100mg
最大試料高さ 50mm 25mm
ステージ回転 360° 360°
解析ソフト SPIPソフトウェア SPIPソフトウェア(option)
画像表示 3次元 2次元


 

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