株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2014年9月
表面形状測定装置として触針式段差計のシリーズを新しくしました。 触針式段差計の低価格帯NanoMap-LSと
2次元表示でシンプルはコンパクト段差計NanoMap-PSが加わりました。

表面形状測定の一覧

触針式/非接触式3D表面形状測定装置と白色干渉計 NanoMap-D

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

デバイスマイクロ材料評価試験

バイオ表面解析

走査型ナノサーマル顕微鏡SThM熱分布測定
 
測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定


 

 

 

触針式粗さ段差計  

 標準段差計 NanoMap-LS
 広域段差計 NanoMap-500LS  

触針式段差計粗さ計NanoMapシリーズの選択肢が増えました。表面形状測定を触針式で微細領域から広域まで測定する段差計です。
XYステージ走査(ステージ走査)の標準段差計、ピエゾ走査(チップスキャン)の狭域段差計、ステージスキャンとチップスキャンの両方を使い分ける広域段差計をそろえました。 いづれも
画像解析のSPIPソフトウェアを標準装備し、 4メガピクセルの高解像度の画像が可能です。

広域段差計は触針式段差計粗さ計と接触式の走査型プローブ顕微鏡SPMを一体化して三次元測定ができます。 微細領域はSPMで、広域は段差計で短時間測定できます。切替スイッチだけでシームレスな三次元測定を可能にしました。3D微細形状画像を作成する装置として従来の段差計とは異なる新製品です。 接触式プローブを走査してモーターXY駆動ステージと高精度ピエゾステージを使い分ける機能が優れています。
触針半径は0.1umから25umの間で選択可能

触針圧は0.1mgから100mgの間で選択可能
高精度ピエゾステージにて500umx500um領域を走査

標準段差計は触針式粗さ計の機能だけを持つ低価格製品です。XYステージ走査モードのみの仕様になります。コンパクト段差計 NanoMap-PSは小型・低ノイズで10um-5000umを測定します。

NanoMap-500LS仕 様

ピエゾ走査(チップ走査)

モータ走査 (ステージ走査)

 

微細レンジ

粗レンジ

垂直分解能:

0.1nm

10nm

0.1nm/10nm

高さ測定範囲:

5μm

500μm

5μm/500μm (op1.5mm)

水平走査範囲:

10μm

500μm

150mmx150mm

XYステージ走査範囲

標準:100mm x 100mm  大型XYステージ可能(オプション)

触針圧:

0.01mg- 100mg PCから選択可能

触針先端半径:

標準:5μm,  オプション:0.1-25μm選択可能

最大試料高さ:

50mm

ステージ回転:

360°

解析ソフト

SPIPソフトウェア


広域段差計触針式粗さ計と走査型プローブ顕微鏡Nanomap-500LS
触針式段差計プラス
走査型プローブ顕微鏡
NanoMap-500LS
 
メーカーリンク:AEP Technology 
触針式段差計Nanomap-LS
標準触針式段差計 単独機能
NanoMap-LS

NanoMap-500LSの 特  徴

□ 接触式触針段差計と走査型プローブ顕微鏡を一体化して三次元画像を作成
□ モータ走査とピエゾ素子走査
□ 走査範囲: 100x100mm−500x500μm
□ 自動測定位置設定機能(XYステージ)
□ 輝度切替機能つきカラーカメラ内蔵
□ コンスタント触針圧設定
□ SPIP画像解析ソフト標準装備






用  途


光学研磨された表面から粗い機械加工面まで3D表面形状と粗さ測定
 薄膜の段差・粗さ測定
 薄膜のストレス・平面度・曲率測定
 スクラッチや溝の形状・摩耗・幅・体積測定
 MEMS・半導体・電子デバイスの3D表面形状測定
 太陽電池・燃料電池の3D表面形状測定
 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定

標準段差計と広域段差計の比較
標準段差計NanoMap-LS 広域段差計 NanoMap-500LS
走査モード
XYステージ走査 チップ走査 +ステージ走査
垂直分解能
Å@5um   0.1um@500um
0.1nm@5um   20nm@1000um
高さ測定範囲 5um-500um 5um-500um
水平走査範囲 100mm   500umx500um + 150mmx150mm
触針圧 0.01mg- 100mg 0.01mg- 100mg
最大試料高さ 40mm 40mm
ステージ回転 360° 360°
解析ソフト SPIPソフトウェア SPIPソフトウェア(option)
画像表示 3次元 3次元
標準段差計の3D取込画像  
NanoMap-LS触針プローブと3D取込画像 
触針式段差計のチップスキャンでICパターン測定
NanoMap-500LSでICパターンを測定
XY250um x Z 500nm

接触式微細形状測定装置NanoMapピエゾステージ走査


シリコン基板上の半導体構造を
XY500um x Z1umをピエゾ走査
スクラッチ溝のXY50um x Z 8um走査
触針式段差計でコピー用紙を測定
触針先端径5umにてピエゾ走査

 

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