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TMR記事MR比200%を達成したトンネル磁気センサーの記事

 

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  高感度磁気センサー トンネル磁気抵抗TMR 

トンネル磁気抵抗TMRの高感度磁気センサーです。従来のAlOxに代わってMgO絶縁膜層を採用してMR比200%以上を達成した低ノイズ、超高感度、のTMR磁気センサーです。
TMR磁気センサーは空間分解能・超高感度磁場検出・低ノイズ・低消費電力・超小型サイズ等の特徴を持ち、高温環境条件にも適応できます。
磁気センサー検査器として製品の磁気粒子検出、半導体デバイス欠陥分析、電流センサーなどに採用され、非破壊の短時間品質管理に貢献しています。

標準のMgO-TMR磁気センサは、以下の6種類を用意しています。
1) 微小領域磁場測定用マイクロセンサ
2) 汎用低ノイズ型センサ
3) 両極検知型センサ
4) 片極検知型センサ
5) 微小磁場測定用直列センサアレー:STJ-A
6) 磁性生体検知用磁気センサアレー:STJ-B


種 類

空間分解能 検知範囲 感 度 最小検出感度 標準パッケージ


マイクロセンサ
〜2μm ±50 Oe 0.5-1.5%/Oe 50nT/Hz1/2 @100Hz; 5nT/Hz1/2 @ 10kHz ベアダイ, プローブ, SMA, DIP-8


汎用低ノイズ型センサ
〜0.9mm ±50 Oe 0.7-2.0%/Oe 2nT/Hz1/2 @ 100Hz; 200pT/Hz1/2 @ 10kHz ベアダイ, プローブ, SMA, DIP-8, SOIC-8


両極検知型センサ
〜0.9mm ±20 Oe 2-5mV/V/Oe 3nT/Hz1/2 @ 10Hz; 100pT/Hz1/2 @ 1kHz ベアダイ, DIP-8, SOIC-8


片極検知型センサ
〜1.8mm ±20 Oe 2-4mV/V/Oe 3nT/Hz1/2 @ 10Hz; 100pT/Hz1/2 @ 1kHz ベアダイ, DIP-8, SOIC-8
  空間分解能 センサ間距離 アレイ    

極微小磁場測定 
  直列センサアレー
〜2 X 4μm 20μm (標準) 4,8,16列(標準) 5nT カスタムパッケージ

バイオ磁気センサアレー
〜2 x 4μm 20μm (標準) カスタムメイド 5nT カスタムパッケージ

 

Mg-TMR_structure
    磁気センサーの構造


TMR-MRratio

トンネル磁気抵抗の室温におけるMR比

特  徴

 室温にてMR比200%以上
□ 高空間分解能 (1μmx2μm)
□ 超高感度磁場検出(2ナノテスラ)
□ 低ノイズ
□ 低消費電力
□ 超小型
□ 高温対応(200℃以上)

センサ形状は、ベアダイや
プローブ・SMA・DIP-8・SOIC-8等

用  途

□ 電子コンパス/ナビゲーション
□ 高精度位置/角度センサ
□ 電流センサ
□ 磁性ナノ粒子検出・偽造品検知
□ 医療デバイス・ナノテクノロジー
 磁気エンコーダー・スピン免疫測定
□ 磁気粒子検出
□ 半導体デバイス欠陥分析装置
 走査型TMR磁気顕微鏡 



メーカーリンク:MicroMagneticsInc 
TMR-STJ001
マイクロセンサ 1.9mm角
TMR-STJactive area

マイクロセンサーの検知部
1umx2um

  低ノイズセンサ0.9mm角
TMR-STJprobe
プローブ型とDIP-8型
TMR-STJ100DIP
DIP-8型
TMR-STJ配線欠陥部
配線欠陥部磁気画像 幅 125nm

 

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