株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2014年9月コンパクト段差計を発表
シンプルでコンパクトな触針式段差計NanoMap-PS

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接触式と非接触式3D微細形状測定装置 
1台3役のSPMと高解像度白色干渉計の複合機   NanoMap-D

接触式と非接触式をそなえた三次元微細形状測定装置 NanoMap-Dは、接触式の粗さ計と接触式の走査型プローブ顕微鏡SPMと非接触の白色光干渉計を同一プラットホームに収納しXYステージを共用したトリプル機能の微細表面形状測定装置です。
従来品ではステージスキャンかピエゾスキャンのいづれかになりますが本機は両方を併用できる大きな優位点があります。 NanoMapは、軟らかいプラスチック、硬い金属・透明なガラス、陽極酸化された金属等の多様な微細形状表面を精密に三次元計測できます。


微細領域はSPMと光干渉計で、広域は段差計で簡単に切り替えて測定できます。従来は高解像度画像をえるのに時間がかかりましたが、4メガピクセルのCCDを採用しても数分の一の短時間で測定できる特徴があります。
NanoMap-LSと同じ接触式プローブを走査してモーターXY駆動ステージと高精度ピエゾステージを使い分ける機能を持ち、さらに光干渉計で高解像度画像をえられる高機能製品ですがコストパフォーマンスにも優れています。

触針半径は0.1umから25umの間で選択可能
触針圧は0.1mgから100mgの間で選択可能
高精度ピエゾステージにて500umx500um領域を走査
段差計プローブはモーター駆動XYステージで光学フラット上を50mmx50mmまで走査
光干渉計は高輝度白色LEDと高性能レンズ、低ノイズ電源、4メガピクセルのCCDを採用

三次元微細表面形状測定装置NanoMap-D
接触式/非接触式3D表面測定装置
 




特  徴
□ 接触式と非接触式表面形状測定装置の組合せ により多様なサンプルに対応
□ チップスキャンとステージスキャンが併用できる
 多くのサンプルのÅ精度の測定
 光学特性の異なる試料の3D画像取込
 接触測定による生の表面形状測定
 高速3D画像作成用マルチコアプロセッサ採用
 4メガピクセル高解像度センサ採用
 SPIP画像解析ソフト

用  途

光学研磨された表面から粗い機械加工面まで
3D表面形状と粗さ測定
 薄膜の段差・粗さ測定
□ 膜厚測定
 薄膜のストレス・平面度・曲率測定
 スクラッチや溝の形状・摩耗・幅・体積測定
 MEMS・半導体・電子デバイスの
3D表面形状測定と粗さ測定
 太陽電池・燃料電池の3D表面形状測定
 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定

メーカーリンク: AEP Technology
段差計ライン
  型式 走査モード 水平走査長さ
 コンパクト段差計 NanoMap-PS チップ走査

5000um

■ NanoMap標準段差計 NanoMap-LS XYステージ走査 100mm(op620mm)

 NanoMap広域段差計

NanoMap-500LS XYステージ走査+
ピエゾ走査
10um-150mm (op620mm)
 NanoMap大型基板段差計 NanoMap-500ES XYステージ走査+
ピエゾ走査
10um-300mm
 白色干渉計+ 段差計 NanoMap-D XYステージ走査+
ピエゾ走査
-50mm

表面形状測定装置NanomapD_ヘッド切替


接触式ヘッドと非接触式ヘッドをスライドして簡単にきりかえることができる
チップスキャンとステージスキャン方式が自動的に最適化される
NanoMap-Dの構造
表面形状測定装置Nanomap_粗さ計Alscratch 走査型プローブ顕微鏡_XY500umZ500nm 白色干渉形状測定装置3D&2D
触針式段差計でアルミ板スクラッチ3D画像 XY5mm Z300um MEMS加工品のSPM3D画像  XY500um Z 500nm 白色光干渉計で有機膜3Dと断面プロファイル  XY250um Z250nm
表面形状測定NanoMap_Cu2x2mmx25um 表面形状測定装置NanoMap_Cu500umx500umx25um 左はCopper表面の段差計3D画像 2mmx2mmx25um

右は同じcopper表面のSPMによる3D画像
500umx500umx25um
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