株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS

接触式3D微細形状測定装置と白色干渉計 NanoMap-D

触針式粗さ計NanoMap-500LS

コンパクト段差計NanoMap-PS

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバ

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

デバイスマイクロ材料評価試験

バイオ表面解析

走査型ナノサーマル顕微鏡SThM熱分布測定
測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定

 

  高解像度白色干渉計-WLI  
  
三次元微細形状マッピング装置           

微細形状測定装置として従来の白色干渉計よりも優れた高解像度と低ノイズの三次元画像を作成します。スムース面から粗い面まで短時間で3D測定画像がえられます。
CCDは標準で1024x1024画素で1920x1920画素まで可能です。


三次元微細表面形状測定装置としてつぎの4機種があります
高解像度白色干渉計 NanoMap-WLI
接触式3D微細形状測定装置 NanoMap-500LS
接触式3D表面形状測定装置と非接触の白色干渉計が1台3役 NanoMap-D
コンパクト段差計 NanoMap-PS

白色干渉計 NanoMap-WLI の仕様
測定方法 走査型白色光干渉法  WLI
垂直分解能:  <0.001nm
高さ再現性: WLI  <0.54nm
XYステージ走査範囲 標準:100mm x 100mm  
カメラ画素数 1024x1024  オプション 1920x1920
垂直走査範囲 <10nm

白色干渉計NanoMap-O

    高解像度白色干渉計

 3D微細形状マッピング装置





特  徴
□ 高輝度LED
□ 低ノイズ
□ 高解像度CCD
□ 高さ走査範囲は0.1nmから10mm
□ SPIP画像解析ソフト
□ 広範囲を短時間測定
 粗い面からスムース面まで測定

用  途
光学研磨された表面から粗い機械加工面まで 3D表面形状と粗さ測定
 薄膜の段差・粗さ測定
 薄膜のストレス・平面度・曲率測定
 スクラッチや溝の形状・摩耗・幅測定
 MEMS・半導体・電子デバイスの3D表面形状測定
 太陽電池・燃料電池の3D表面形状測定
 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定

メーカーリンク:AEP Technology 
微細表面形状測定装置NanoMap_O_alumi_grain_analyasis
エッチングアルミの表面解析  細孔・グレインの検出と分析



白色干渉計Nano_O_alumi      
エッチングアルミ
XY5mm、Z150mm
白色干渉計による太陽電池金属フィンガー
多結晶シリコン太陽電池の金属フィンガー

1024画素 視野範囲 500um

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