株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
◆2017年1月
プローブを交換することでインデント試験、引っ張り試験、粘着力試験、マニピュレーション機能を含め多種の機械特性を評価できます。

◆2016年4月 新製品 SEMに設置してナノメカニカル特性を測定できるFT-NMT02 を発表

◆2016年4月 マイクログリッパの単体でのご提供は中止となり試験装置としてご提供となります。




  MEMS材料マルチ評価試験装置

マイクロメカニカルステーション  FT-MTA02
生体材料を含む広い分野のメカニカル試験とマイクロアセンブリー

マイクロメカニカルステーションは生体材料、MEMS材料などのさまざまな分野で殆どすべての機械的評価試験とマニピュレーションアセンブリーができます。これまで用途に応じたマイクロアセンブリー試験装置を各種ご提供してきましたが、それらを包括したマニピュレーションを含む一体型のマイクロメカニカルマルチ試験装置となります。
高精度プローブが多用途の機械特性試験を可能にします。従来の試験装置と違い、水平方向、垂直方向、ほか任意の角度で試験をすることができます。マイクロ圧力センサーを搭載してマイクロニュートン〜ミリニュートンの範囲を測定できます。ほかにマイクログリッパーを搭載してマイクロアセンブリーやサンプル搬送ができます。

NEWS  MEMSデバイスは従来は電気的試験のみを行っていましたが機械特性評価試験も合わせて行える
MEMSデバイス評価試験装置 プローブステーションFT-MP02が登場しました。


マイクロメカニカルステーション

マイクロメカニカルステーション


評価試験モード

□押込み試験・引っ張り試験
□粘着力試験
□駆動力試験
□変位範囲試験
□距離と形状測定

機械特性試験の特長

□1uN-100mNの微細フォース測定
□26mm分解能5nmの位置情報検知
□多方向へむけて測定
□深さ1.5mmまで液中測定
□測定中のサンプル観察


マイクロ搬送/アセンブリの特長

□10um-400umの搬送
□ナノ分解能で移動範囲  26mmx26mmx26mm
□5nN-100nNの把持力
□グリッパーの自動アプローチ


MEMSmirrorミラーの変更角度試験 

MEMSミラーの偏向角度のメカニカル試験
Mmicrofiber_tensiontest

マイクロファイバーの引っ張り試験

sample_transfer

サンプルをグリッパーで搬送
マイクログリパー

つかむ 移動する 置くmicrogripper
フォースセンサーとマイクログリッパ

センサーつきマイクログリッパー部分

 

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