株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS

◆2016年4月 SEMやFIBに対応したナノメカニカル試験装置を発表しました

◆2016年4月18-19日 仙台・松島で開催されるIEEE-NEMS国際学会で「MEMSプローブステーション」を展示します。

◆2015年1月 MEMSプローブステーションの FT-MPS02と
メカニカル試験と組み立てが包括してできるマルチステーションFT-MTA02を発売しました




  SEM/FIB対応ナノメカニカル特性試験装置 

SEM/FIBにてその場ナノ機械特性を測定  FT-NMT02 

ナノ工学においては走査型電子顕微鏡(以降SEM)による観察のほかに次の観察/計測が要求されます。  ◆ナノニュートンからミリニュートン範囲の接触圧力の測定とマイクロアセンブリー
  ◆マイクロメータ からナノメーターの範囲の変位(たわみ)の測定
これらの条件を達成するためにFemtoTools社は、SEMやFIB内部に設置してマイクロおよびナノメカニカル試験のできる「メカニカル特性試験装置」FT-NMT02を開発しました。

FemtoTools社の関連製品
マルチステーションのFT-MTA02 MEMS材料の機械的な試験とマイクロマニピュレーションができる
MEMSプローブステーションの FT-MPS02 MEMSデバイスを評価試験する

ナノメカニカル試験装置FT−NMT02
SEM内部に設置してサンプルのナノメカニカルテストができる
特長

高い対応性:メカニカルテストの広範囲のタスクと多様なサンプルに対応

 

□5nNからの100mN間での低ドリフト圧力測定
12 x 21 x 12mm範囲のx-y-z方向のクローズドループ位置決め
変位検出分解能 1 nm
多数の方向で測定可能
□0.01mmからの0.1 mm間でサブ−ミリメートルのサンプルを操作

サンプル基板への自動グリップとアプローチ
5 nNから100 μN間のグリップ圧力と測定可能

3部構成のソフトウェア
以下の操作を自動化

圧縮/張力テスト、剪断テスト、サイクル・テスト、クリープ・テスト、自動ライン/配列測定…


装置構成

2軸モーター回転プラットフォーム
3軸組込み光学エンコーダー
センサーヘッド
SEM試料ホルダーを含む3軸ナノ位置決めユニット

図の説明
@高解像の位置センサー付き3軸ナノ位置決めプラットホーム

A FT-S マイクロ圧力検知機能付きプローブ或いは FT-Gマイクログリッパー対応センサー/グリッパーヘッド

B FT-S マイクロ圧力検知機能付きプローブ或いは FT-Gマイクログリッパーは別販売

Cワイヤー接続パッド及び電気接続付きサンプルホルダー(サンプルの電気−メカニカル同時測定可能)

SEM用ナノメカニカル試験装置サイズ

コネクターの選択で電気特性試験を行うことができる

D. サンプル回転ステージ(ピッチ)

Eサンプルチルト・ステージ(ヨーイング)


tip with bee by SEM gripper with spring by SEM tip with sample by SEM
nano indentation SEM in-situ nanoassembly nano characterization

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