株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS

◆2016年4月 新製品 SEMに設置してナノメカニカル特性を測定できるFT-NMT02 を発表


◆2016年4月 マイクログリッパーとマイクロ圧力センサーはいままで単体で販売していましたが単体ご提供が中止となりました。

◆2016年4月18-19日 仙台・松島で開催されるIEEE-NEMS国際学会で「MEMSプローブステーション」を展示します。

◆2015年1月 MEMSプローブステーションの FT-MPS02と
メカニカル試験と組み立てが包括してできるマイクロメカニカルステーションFT-MTA02を発売しました




  MEMSデバイス評価試験装置 

MEMSプローブステーション  FT-MPS02
MEMSデバイスの電気特性と機械特性の両方を測定する試験装置

MEMSプローブステーションはMEMSデバイス上の構造的特性、機械的電気的なシミュレーションを可能にするMEMSデバイス試験装置です。従来は電気的試験に限定されていましたが、本装置では機械特性試験と電気特性試験をその場で自動試験することができます。
MEMSプローブステーションによってEMS開発の効率が大幅に向上します。微細加工製造プロセスの定量化が可能になり、MEMS設計の評価と改善を可能にします。

マイクロ圧力センサーはマイクロニュートンからミリニュートン1uN〜100mNの極微小な荷重変化を検知できます。ひずみゲージを使った従来品とことなり 静電容量の変化から圧力の変位を測定します。
ひずみゲージやピエゾ圧電センサーに比べて安定性 解像度 感度がすぐれています。
NEWS いままでマイクロメカニカルの試験装置を用途別に各種ご提供していましたが、それらを包括して殆どの機械的な試験とマイクロマニピュレーションができるマイクロメカニカルステーションFT-MTA02を発表しました


MEMSprobestation
特長
機械特性試験モジュール
マイクロ圧力センサーを採用した高精度で微細構造の機械特性を定量試験する


タッチスクリーンのデュアル顕微鏡

□手動プローブステーション
直径200mm(8インチ)対応

□プログラムできる電圧・電流電源
マルチメーター
回路の電気試験に必要な装備はすべてそろえている



アプリケーション

□ウエハーレベルのMEMS試験とチップ校正
□機械特性と電気特性試験
□リリーストステイ検出
□デバイスの品質検査
□エッチング深さ検査
□膜厚・段差測定
□歩留まり検査


thermal_actuator_deviceactuator_functionality

MEMSサーマルアクチュエータの電気特性および機械特性試験の例

ウエハを検査するプローブ
ウエハを2本のプローブとセンサーでメカニカル試験

 

装置構成
□機械特性試験モジュール

□手動のプローブステーション

□電動デュアル顕微鏡

□電圧・電流電源

□マルチメータ


マイクロセンサープローブ新
直線型のプローブセンサー
マイクロ圧力センサーMEMSデバイス
斜め45度のプローブセンサーでデバイス評価試験
デバイスの弾性測定による品質管理
MEMSデバイスを で押圧測定
MEMSスデバイスの押圧と弾性測定
ウエハ上のチップ ごとの自動品質検査



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