株式会社 テックサイエンス
English
LEED IPES  電子線回折 光電子分光測

イオン源比較一覧

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

材料

バイオ表面解析

測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定
  スパッタイオン源  

OCI社のスパッタイオン源IG70/IG70DPは、AESデプスプロファイルや試料のクリーニング用に開発された製品です。イオン源は、直径Φ5〜10mmの均一で高密度な不活性ガスのイオンビームを作成することができます。
IG70の標準的動作真空度は1x10-6〜5x10-6torrです。また、差動排気ポート付きタイプのIG70DPの標準的動作真空度は、2x10-7〜1x10-6torrです。


分析容器の真空ポンプ排気速度が200l/sec以上であれば、10-7torr台の真空度で動作が可能です。

スパッタイオン源
スパッタイオン源 IG70/IG70DP

主な仕様
取付フランジ:  ICF70
イオンソース: 磁場電子衝撃型
ビームサイズ: 5 - 10 mm
ビームエネルギ: 0 - 3 keV
スパッタイオン源 仕様
特  徴
  • ビーム強度の変更が可能
  • 取付ポートはICF70フランジ
  • フィラメントは2本用意
  • オプションで作動排気ポートを追加可能(IG70DP)
  • 動作真空度: 10-6〜10-7torr
  • ビームエネルギー: 0-3keV可変,デジタルパネルメータにより確認が可能
  • ビームエネルギーのリモート制御が可能  
メーカーリンク: OCI Vacuum Microengineering, Inc.
 Copyright (C) TECHSCIENCE LTD. All Rights Reserved.