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MCP−LEEDで円筒状単結晶を観察した研究発表がオランダ ライデン大学から表面科学誌に掲載されました 文献概要
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  低速電子線回折 
MCPLEED-AES光学系装置 

低速電子線回折装置 MCPLEED-AES装置は、通常の背面LEED-AES光学系のグリッド−スクリーン間にマイクロチャンネルプレート(MCP)を装備したタイプの装置です。MCPを用いることで一次電子ビームの低電流動作が可能となり、有機物や吸着物、絶縁物など、ダメージに弱い、或いはチャージアップしてしまうような測定対象物に対する有効性を備えています。
この機種はLEED測定の他に、AES(オージェ電子分光)測定も一次電子の低ビーム電流動作で行うことができます。


OCI社のMCP背面LEED-AES装置は75mmMCPを採用し、取付フランジはICF203及びICF152に対応しています。また、MCPはシングル(1枚)とシェブロン(2枚)の2種類があります。

MCP背面LEED/AES光学系
MCP背面LEED/AES光学系

主な仕様
取付フランジ
BDL800IR-MCP ICF203
BDL600IR-MCP ICF152
MCP背面LEED/AES装置 仕様
特  徴
  • 75mmMCPの採用で一次電子ビームの低電流動作(<50pA)が可能
  • MCPはシングル(1枚)とシェブロン(2枚)から選択
  • 超小型電子銃(直径10mm)採用で、広い視野が得られる
  • 電子銃は低脱ガス材料/構造を採用
  • グリッドを金コートすることにより低バックグランドを確保
  • エネルギー分解能: 0.2%
  • 制御電源を1台に統合し、小型化・低価格化を実現
  • LEED画像解析ソフト、AESデータ取込ソフトを提供可能 
メーカーリンク: OCI Vacuum Microengineering, Inc.
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