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  エッチングイオンソース 

エッチングイオンソースNTI1401は、高電流密度にて高速エッチングができるイオン源です。AES/ESCA分析における試料クリーニング及びエッチング深さプロファイル分析用の製品です。動作距離25mm、ビーム径0.4mmで、20µAのビーム電流値を取ることが可能です(他社製品の約10倍の電流密度が取れます)。ビーム径50µmの場合には1µAのビーム電流値を取ることが出来ます。ビームエネルギーは5eV〜5KV可変です。イオンは電子衝撃により生成されます。


エッチングイオン源のフィラメントは、フィラメント材料が試料に蒸着されるのを防ぐため、オフアクシス位置にあります。また、イオン源には差動排気ポート(ICF70)が付きます。

高性能イオン源
高性能イオン源及び制御器

主な仕様
取付フランジ ICF70フランジ
ビームエネルギ 5V - 5KV
ビーム電流値 Max 20µA-5KV
Min 1nA
動作距離 5 - 250 mm
エッチングイオン源 仕様

特  徴

  • 高電流密度: 15〜50mA/cm2
  • Wフィラメントを2本装着
  • フィラメントのオフアクシス位置取付
  • 差動排気ポート(ICF70)付き
  • 分解クリーニングが容易
  • レンズパラメータのプリセットが可能
  • X-Yラスター走査が可能
メーカーリンク: Nonsequitur Technologies Inc.
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