株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
3点校正の標準混合ガス 質量分析校正器ができました。
長期に渡り安定使用ができます
製品分類
表面特性分析
 
AFM・STM・SPM
 
AFMプローブ・カンチレバー
 
三次元微細形状測定装置
 
光電子分光測定

LEED電子線回折装置

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磁気センサーマイクロセンサ

材料

バイオ表面解析

測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定

  標準混合ガス質量分析校正器

標準混合ガスの校正スタンダードリークは、6種類のガスを1つの容器に封入した質量分析器の校正に使われる便利な校正器です。封入された混合ガスの構成比が判明していますので、6種類のガスによる質量分析計の感度校正が行えます。特殊シャットオフバルブ(ポジティブシャットオフバルブ)を標準装備していますので、ガスのバーストを無くし減衰を最小限に抑えることが可能です。

ご希望のリーク流量値は、幅広く用意された流量範囲からご指定頂けます。標準リーク流量範囲は10-4〜10-6atm-cc/secです。接続配管等はご要望に合わせて指定できます。


放出ガスリーク流量は、NIST(米国立標準技術研究所)認定のリーク流量校正法に基づきVTI社において校正されています。
新製品新製品:標準混合ガスはユーザーがガスを充填できませんので、ガスを無駄に消費しない特殊バルブがついていますが使用期間は限られていました。
3点校正の検量線グラフと圧力計がつく新製品が発表されました。検量線グラフの示す範囲内でガスが10%まで減少しても使用しつづけることができます。多目的校正スタンダードリークに特殊シャットオフバルブが付く形状となります。

標準混合ガス校正スタンダードリーク
特殊シャットオフバルブ付き
標準混合ガス
校正スタンダードリーク

主な仕様
校正ガス種
標準混合ガス:
H2(3%), He(3%), N2(1.8%), Ar(バランス), Kr(3%), Xe(3%)
その他混合ガス:
お問合せ下さい
 

特  徴

  • NIST(米国立標準技術研究所)認定校正法適用
  • 校正成績書/校正証明書を添付
  • 高精度,高安定性
  • ステンレス製で破損の心配が無く,長寿命
  • 質量数1-132amuの範囲において,残留ガス分析計/質量分析装置の感度校正が本リーク器のみで可能
  • ガスのバーストがない
  • ガスの年間減衰を最小限に抑える

主な用途

  • 残留ガス分析計の調整/感度校正
  • 質量分析装置の調整/感度校正
標準混合ガスのマススペクトラムグラフ
標準混合ガスのマススペクトラムグラフ
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