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  ヘリウムパーメーションリーク
    微小流量校正リーク

ヘリウム専用の汎用パーメーション(透過型)校正器です。ヘリウムガスはガラス製またはテフロン製のパーメーション素子を透過して放出します。リーク流量が非常に小さくても、詰まりを起こすことは有りません。
テフロン製パーメーション素子のリーク流量可能範囲は10-5〜10-7 atm-cc/secです。ガラス製パーメーション素子の場合、テフロン製に比べ微小なリーク流量を得ることができます。配管はご希望に対応できます。さらに微量流量には高精度ヘリウムパーミエションリークを用意しています。


放出ガスリーク流量は、NIST(米国立標準技術研究所)認定のリーク流量校正法に基づきVTI社において校正されています。

Heパーメーションリーク
Heパーメーションリーク

主な仕様
校正ガス種

標準:

He
※He以外のガス種で微少流量をご希望の場合には,テフロン製パーメーション素子を採用することで作製が可能です。校正スタンダードリークでは作製困難な微少流量も,パーメーションリークならば可能です。流量範囲は10-5〜10-7 atm-cc/secです。
容器は150cc以上


非使用時もバルブを開放しておくことで,再使用時に直ちに校正流量を得ることができます。
 

特徴

  • NIST(米国立標準技術研究所)認定校正法適用
  • 校正成績書/校正証明書を添付
  • 透過管はテフロン製で長寿命
  • 微少流量でも詰まりが無く、高安定性
  • 汎用型で低価格
  • 年間減衰率(<1%/year)
    温度による校正値の変動があるため、校正時に近い温度で使用することを推奨致します。温度係数表記あり。

主な用途

  • 校正スタンダードリークでは困難なHe微少流量の感度校正
  • リークテスト

−ご注意−
標準品はステンレスバルブにテフロンシールを採用しているため、UHV(超高真空)環境での使用には向きません。

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