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  高精度Heパーメーションリーク
          微小流量校正リーク

ヘリウム専用の高精度パーメーション(透過型)校正器です。ヘリウムガスはガラス製のパーメーション素子を透過して放出されます。リーク素子以外は全てステンレス製ですので、UHV(超高真空)環境でも使用することができます。
ガラス製パーメーション素子のリーク流量可能範囲は10-7〜10-10 atm-cc/secですが、更に小さなリーク流量も可能です。ガス種、接続配管等はご要望に合わせてご指定可能です。パーメーションリークはキャピラリーリーク製品と異なる使用条件がありますので
ご了解のうえで採用していただくようお願いします。


放出ガスリーク流量は、NIST(米国立標準技術研究所)認定のリーク流量校正法に基づきVTI社において校正されています。

高精度Heパーメーションリーク
高精度Heパーメーションリーク

主な仕様
校正ガス種
標準: He
特注 (要追加費): He3
※He以外のガス種で微少流量をご希望の場合には,テフロン製パーメーション素子を採用することで作製が可能です。校正スタンダードリークでは作製困難な微少流量も,パーメーションリークならば可能です。流量範囲は10-7〜10-10 atm-cc/secです。
容器は150cc以上


非使用時もバルブを開放しておくことで,再使用時に直ちに校正流量を得ることができます。
 

特  徴

  • NIST(米国立標準技術研究所)認定校正法適用
  • 校正成績書/校正証明書を添付
  • 高精度,高安定性
  • 透過管以外はステンレス製で長寿命
  • 微少流量でも詰まりが無く,高精度,高安定性
  • UHV(超高真空)対応
  • 年間減衰率(<1%/year)
    温度による校正値の変動があるのため、校正時に近い温度で使用しなければなりません。温度係数表記あり。
    ストップバルブを解放した後は流量が安定するまで24時間放出することを推奨します。

主な用途

  • 校正スタンダードリークでは困難な,He微少流量の感度校正
  • リークテスト
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