株式会社 テックサイエンス
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校正リーク

校正スタンダードリーク

スニファー校正リーク

標準混合ガス質量分析計校正器

Heパーメーションリーク

製品ニュース
独自の開発製品で長寿命かつリーク流量の幅があるので人気のある製品です。貴ガスをつかう場合は多目的校正リークに特殊バルブをつけます。形状は標準混合ガス質量分析校正器と同じです。

製品分類
表面特性分析
 
AFM・STM・SPM
 
AFMプローブ・カンチレバー
 
三次元微細形状測定装置
 
光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

材料

バイオ表面解析

測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定
  多目的校正スタンダードリーク

多目的校正スタンダードリークは、校正スタンダードリークに圧力計及びガス充填バルブを装備した3点流量をしめす校正器です。1種類または多種類のガスによる複数点校正値が提供されますので、この製品一つで多目的に利用することができます。 
ガス量が減衰してもガス圧に応じた校正流量値をもとめることができます。
リーク流量値の3点校正を行うことにより、圧力とリーク流量検量線グラフが得られます。圧力をコントロールすることで、希望リーク流量の設定が容易に行なえます。使用ガスの交換はユーザーサイトの責任で行います。
He , Ar , N2 , CO2 , Air  以外のガスについては基本的にガス容器つきでご提供できません。例外についてはお問い合わせください。


放出ガスリーク流量は、NIST(米国立標準技術研究所)認定のリーク流量校正法に基づきVTI社において校正されます。

多目的校正器
多目的校正スタンダードリーク

主な仕様
校正ガス種

標準:

He , Ar , N2 , CO2 , Air ,
5H95N

特記 ユーザーがガス充填して使用することを前提とします

※有毒ガス/可燃ガスは輸入不可能なため,校正のみとなります。
ガス交換の際には,ドライタイプの真空ポンプによる真空引きが必要です。頻繁なガス交換が必要な場合には,小型容器をお勧めします。
容器は150cc以上
 

特  徴

  • NIST(米国立標準技術研究所)認定校正法適用
  • 校正成績書/校正証明書を添付
  • 高精度,高安定性
  • ステンレス製で破損の心配が無く,長寿命
  • ベーキング可能(<200ºC)UHV対応
  • 低い温度係数(通常<0.3%/ºC)
  • 校正圧力計の装備によりガス充填が容易
  • 複数ガスによるリーク流量の多点校正値および検量線の取得が可能

主な用途

  • 残留ガス分析計の調整/感度校正
  • 質量分析装置の調整/感度校正
  • He/Ar/ハロゲンリークディテクタの感度校正
校正リーク製品
各種校正リーク製品
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