株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2016年4月Sensofar社の1台3役の高速非接触形状測定装置をさらにコンパクトにしたSlynxを発売しました
2016年1月Sensofar社の形状測定装置を販売します
非球面レンズを高速で非接触測定する
PLuApex

1台3役の高速3D形状測定装置Sneox


製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

デバイスマイクロ材料評価試験

バイオ表面解析

走査型ナノサーマル顕微鏡SThM熱分布測定
 
測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定

 

 

1台3役の高速3D形状測定装置 
S neox
RGB共焦点顕微鏡、白色干渉計、全焦点3D形状測定装置を1台に 

3機能を1台に集約した 非接触高速3D形状測定装置 S neox
共焦点顕微鏡、干渉計、全焦点形状測定機能を同一光学系で実現したSensofar社の新装置です。多機能と使いやすさと低価格が特徴です。超平坦な光学表面から微細な機械部品まで高速・高精度に形状測定、表面粗さ測定することが出来ます。
従来よりもはるかに鮮明なリアルカラーの実現、、高分解能ステージを組み合わた貼り合わせ機能があります。

3機能の得意分野

RGB共焦点顕微鏡 Confocal
平坦な表面から高さ10mm程度の粗さ表面まで測定出来ます。150倍の高NAレンズで70度の傾斜面まで測定可能


●白色干渉顕微鏡 Interferometry
超平坦な表面を得意とします。測定モードは
3モードを装備。倍率の異なるレンズでも同一の垂直分解能があります。

●全焦点形状測定装置Focus Variation
最大40mmの高さと86°の急傾斜面を高速で測定できます。粗い表面に適しています
高分解能ステージを使って貼り合わせ機能


■オプション
分光膜圧計:  コーティング膜の厚さ(>10nm)を最大10層を測定 分解能0.1nm

Sensofar高速3D形状測定装置
高速3D形状測定装置 Sneox

特  徴
□ RGB共焦点顕微鏡、白色干渉計、
 全焦点3D表面形状測定を
1台に集約 

□ マイクロディスプレイ技術(特許)による高速測定とメンテフリー
□ RGB光源によるより鮮明が画像
□ 貼り合わせ機能
□ 高いコストパフォーマンス

用  途
 超平坦表面から微細な機械加工面まで3D表面形状と粗さ測定
 薄膜の段差・粗さ測定
□ 膜厚測定
 MEMS・半導体・電子デバイスの
  3D表面形状測定と粗さ測定
 太陽電池・燃料電池の3D表面形状測定
 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定

特許技術の光学系
□マイクロディスプレイのSensofarの特許技術を共焦点の光学系に採用

□高速スイッチングによりメカニックを動かさずに速くて安定した共焦点イメージを取得

□従来の共焦点顕微鏡ではミラー走査を行うためにメカニックを移動させていました。そのため耐用年数も短くなり、高倍率画像ではディザリングの性能も低下しました。しかしマイクロディスプレイ技術により可動させずに高速測定するためメンテナンスも不要になります。


マルチ波長のLEDs
□Red,Green,Blud, Whiteの4色の波長のLED光源を装備
□リアルカラーでpixel単位のハイコントラスト画像を実現

Sneoxマイクロディスプレの光学系
マイクロディスプレイの光学系

Sneoxの測定画像
Sensofar_CCDsensor
CCD sensor
Sneox_diamonds
Diamonds
Sneoxによるsolderballs

Solder Balls

Solarcell_Sneox
Solar Cell
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