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高速3D形状測定装置
Sneox

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コンパクトな1台3役の高速3D形状測定装置
S lynx

焦点顕微鏡、白色干渉計、全焦点3D形状測定装置を
さらにコンパクトに
1台に集約 


3機能を1台に集約した 非接触高速3D形状測定装置のコンパクトな新製品S lynxです。 

超平坦な光学表面から微細な機械部品まで高速・高精度に形状測定、表面粗さ測定することが出来ます。 共焦点顕微鏡、干渉計、全焦点形状測定機能を同一光学系に集約して、サイズはコンパクトな275 x 365 x 510mm 。
新機能としてオートフォーカスとライブイメージ取込が可能になります。
Sneoxでは3原色光源でしたがSlynxは白色光源となります。

3機能の得意分野 Slynx_250

共焦点顕微鏡 Confocal
平坦な表面から高さ10mm程度の粗さ表面まで測定出来ます。空間サンプリングは0.01um(10nm)まで可能

●白色干渉顕微鏡 Interferometry

超平坦な表面を得意とします。トポグラフィーや透明膜の構造解析に使用できます。対物レンズのNAや倍率にかかわらずにナノレベルの垂直再現性

●全焦点形状測定装置Focus Variation

最大40mmの高さと86°の急傾斜面を高速で測定できます。粗い表面に適しています


コンパクト非接触3次元形状測定装置
コンパクト高速3D形状測定装置 Slynx

特  徴
□ 共焦点顕微鏡、白色干渉計、
  全焦点3D表面形状測定をコンパクトな1台に集約 
□ 高速測定
□ メンテフリー
□ オートフォーカス
□ ライブイメージ取込
□ 装置サイズ27x32x56cm
□ SensoScanソフトウェア
□ 高いコストパフォーマンス

用  途
□ 超平坦表面から微細な機械加工面まで3D表面形状と粗さ測定
□ 薄膜の段差・粗さ測定
□ MEMS・半導体・電子デバイスの
  3D表面形状測定と粗さ測定
□ 太陽電池・燃料電池の3D表面形状測定
□ 塗装膜・蒸着膜の膜厚・粗さ測定

特許技術のマイクロディスプレイとSensoSCANソフトウェア
□マイクロディスプレイのSensofarの特許技術を共焦点の光学系に採用

□高速スイッチングによりメカニックを動かさずに速くて安定した共焦点イメージを取得

□従来の共焦点顕微鏡ではミラー走査を行うためにメカニックを移動させていました。そのため耐用年数も短くなり、高倍率画像ではディザリングの性能も低下しました。しかしマイクロディスプレイ技術により可動させずに高速測定するためメンテナンスも不要になります。

□最新のSensoSCANソフトウェアは直観的なインターフェースを備えるとともにカスタム対応ツールも含めてISOのような表面測定標準と互換性を持つパワフルな分析アルゴリズムを持っています


ライブイメージ
Slynx_live image

SensoSCANソフトウェアにより共焦点イメージを質とスピードともに今までにない進歩をさせました。
共焦点イメージで9fps(毎秒9フレーム)、明視野では30fps(毎秒30フレーム)
ほかオプションでさらに向上

Sensofar共焦点顕微鏡と一般のレーザ顕微鏡を比較して倍率と垂直分解能を対比させたもの

高倍率対物レンズの場合、レーザー顕微鏡では垂直分解能があまり改善しませんが、Sensofar共焦点では垂直分解能が大幅に改善します。

これはSensofarのマイクロディスプレイ技術とアルゴリズムによるパーツを動かさずに高速で測定できる機能によるものです。

共焦点とLSM比較

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