株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2016年6月に非球面レンズ用のPluAoex デモ機を用意できます。デモ測定承ります。

2016年4月Sensofar社の1台3役の高速非接触形状測定装置をさらにコンパクトにしたSlynxを発売します

2016年1月Sensofar社の形状測定装置を販売します
非球面レンズの高速非接触測定装置と1台3役の高速非接触測定装置Sneox

 

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

デバイスマイクロ材料評価試験

バイオ表面解析

走査型ナノサーマル顕微鏡SThM熱分布測定
 
測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定

 

  非球面レンズの高速非接触形状測定装置 
PLuApex
独自の非球面解析ソフトの共焦点顕微鏡

非球面レンズを高精度測定するには時間がかかっておりましたが、SensofarのPLuApexは測定時間を大幅に短縮します。また 非球面レンズの解析ではいままで実形状との誤差が発生していましたが、そのエラーを補正して従来より高精度に計測することに成功しました。
携帯電話や各種カメラレンズ、車載特殊カメラレンズ、光学部品など広い分野で活躍します。

Apex非球面レンズ Apex傾斜65度Apex加工品
非球面レンズの高速形状測定装置 PLuApex
Apex正面

特  徴

非球面レンズの形状測定と解析
□高速測定 <1mm/s
□マイクロディスプレイ技術による高速測定
□メンテナンスフリー
□最大65°までの傾斜測定
独自の非球面解析ソフト

用  途
工業用光学部品
ブルーレイ・DVD用レンズ
携帯電話・PDAカメラレンズ
天体観測・人口衛星用光学系
フォトリソグラフィ光学系 車載特殊カメラレンズ
デジタルカメラ・プロジェクタレンズ

測定シーケンス

□SensoTRACKソフトウェアが 焦点を検出
□サンプルのカーブをトラッキングすると同時に補正をする

□レンズ設定値の非球面係数と形状測定値パラメータを比較する機能を搭載

□光源は530nm


測定シーケンス

PLuApexの構造


従来のクローズドループシステムでは最良型でもトラッキングエラーが残ってしまいました。
焦点深度が浅いものでは問題にならないのですが、ナノレベルの測定ではエラーを認識してしまいます。

PluApexの共焦点トラッキングシステムでは独自の特許技術によりそれを解決しました。


system diagram
システム構成
Apexのトラッキング方式 confocul tracking
confocul tracking
SensoTRACKソフトウェアは操作をシンプルにします。
表示と解析に必要なツール機能

サンプルのアライメント

操作エラーを最小限に

設計ファイルや入力ファイルを評価して

非球面レンズの係数20の中からベストフィットの非球面係数とパラメータを表出

形状比較機能
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