株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2017年1月
CSI社の高精度AFM Nano-Observer
電気力顕微鏡、ケルビンフォース顕微鏡、磁気力顕微鏡、熱顕微鏡、走査型MIM顕微鏡などの機能を持つ高精度原子間力顕微鏡です。

高感度電流増幅器 レジスコープは今までなかった10桁の電流値を達成。仏国立研究センターと共同開発しました。

2013年と2014年とつづいてFIEEC Prize, Yves Rocard Prizeを受賞

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバ

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

デバイスマイクロ材料評価試験

バイオ表面解析

走査型ナノサーマル顕微鏡SThM熱分布測定
測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定




  レジスコープResiscopeII  ソフト-Resiscope
AFM 超高感度電流増幅器

ResiscopeUは、10桁以上の抵抗値・電流値を高感度・高分解能で測定できるAFMむけの高性能の電流増幅器です。電流値 10桁を達成した他に類を見ない高分解能測定が可能となりました。

応用分野
光起電力測定・半導体・酸化膜・電池・導電性高分子膜・有機薄膜・生体試料


レジスコープ装置
ResiscopeP-mosトランジスタ
                         P-MOSトランジスタ
                            走査範囲:1.5um

ソフトResiscopeは、AFMのインターミッテントコンタクトモードを基 にしています。プローブ−サンプル間の摩擦がないことと、フォースを一 定にすることで、表面が柔らかいサンプルでも、表面を傷つけることなく 定量的な測定が行えます。このユニークかつ革新的なAFMモードはアプリ ケーションの領域をさらに拡大します。

 

プローブはインタ ーミッテント ピンポイントコンタクトモードにて摩擦を最小限にして表面に傷をつけません

測定のむずかしい有機ソーラーセルやシリコン基板上の金析出の高解像度測定も可能となります。         
          

Soft_Resiscope模式図

Soft_Resiscopeシリコン上の金の析出
Gold deposition on doped silicon

Soft_Resiscope_ソーラーセル
P3HT, Organic Solar Cell

Soft_Resiscope_Nanotube
Nano-tubes


Resiscope構成図

レジスコープの構造
トポ像とレジスコープ像
Photovoltaicのトポ像と電流値像
ACモードのトポ像とKFM像と レジスコープ像

ACモードのトポ像とKFM像と 電流値像
セミコンダクターのトポ像と抵抗画像
セミコンダクター のトポ像と抵抗画像
酸化の特長的画像

酸化膜の抵抗像
解析ソフトウェアSoftware

解析ソフトウェア
測定モード
標準モード
コンタクトモード
オシレーションモード
スペクトロスコピー
FMMモード



Nano-ObserverAFM
追加モジュール
Resiscope
ソフト-Resiscope


SThM熱分析AFM


特殊測定モード
電気力顕微鏡
磁気力顕微鏡
ケルビンフォース顕微鏡
ピエゾフォース顕微鏡
導電性AFM
sMIM
走査トンネル顕微鏡
測定環境

液中測定
温度制御

環境制御




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