株式会社 テックサイエンス
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製品NEWS
2017年1月
CSI社の高性能AFM Nano-Observerは
電気力顕微鏡、ケルビンフォース顕微鏡、磁気力顕微鏡、熱顕微鏡、走査型マイクロ波インピーダンス顕微鏡sMIMなどの機能を持つ高精度原子間力顕微鏡です。

高感度電流増幅器 レジスコープは今までなかった10桁の電流値を達成。仏国立研究センターと共同開発しました。

製品分類
表面特性分析

AFM・STM・SPM

AFMプローブ・カンチレバー

三次元微細形状測定装置

光電子分光測定

LEED電子線回折装置

イオン化ポテンシャル
仕事関数

磁気センサーマイクロセンサ

ナノ材料

バイオ表面解析

ナノサーマル熱分布測定

測定事例

校正標準リーク

受託分析 受託測定




  Nano-Observer ナノオブザーバーAFM

多種の測定モード・環境制御に優れた高性能の原子間力顕微鏡

AFMは表面科学、高分子、生体、デバイスなどのほかに近年電気特性の機能評価のニーズが増加しています。 これに応えて開発されたのがCSI社製Nano-Observerナノオブザーバーです。
電気特性測定機能と環境制御機能はじめ多種の測定モードをフル装備して研究と生産の両分野に最適ソリューションを提供します。
「走査型

測定モード
C-AFM (conductive AFM)
HD-KFM (High definition Kelvin force microscopy)
KFM (Kelvin force microscopy)
EFM (Electric force microscopy)
MFM (Magnetic force microscopy)
PFM (Piezoresponse force microscopy)
SThM (Scanning thermal microscopy)
sMIM(Scanning Microwave Impedance Microscopy)

応用分野

半導体・酸化膜・電池・有機膜・高分子・生体試料・
材料分析
ナノオブザーバーのスターウォーズD2

Nano-ObserverAFM
Nano-ObserverAFM

特徴
HD-KFM 高精細ケルビンフォース顕微鏡ほかの多用途モード

・高精度スキャナー <100μm

・ダイナミックレンジ10桁の電流増幅器ResiScope レジスコープ

・サイドビューとトップビューカメラ

・簡単な操作性とソフトウェア

・3つの独立したピエゾ駆動ステージによる高精度制御

温度制御と環境制御

・低ノイズコントローラーを採用

・電気特性の測定に優れる

・容易な位置決め

C36 Molecules
C36 Molecules
走査範囲:250nm
ITOのC-AFM画像
ITO C-AFM像
走査範囲:3um


測定モード
標準モード

コンタクトモード
オシレーションモード
スペクトロスコピー
FMMモード


追加モジュール

高感度電流増幅器
Resiscope

ソフト-Resiscope

SThM熱分析AFM


特殊測定モード

電気力顕微鏡
磁気力顕微鏡
ケルビンフォース顕微鏡
ピエゾフォース顕微鏡
導電性AFM
sMIM
走査トンネル顕微鏡
測定環境

液中測定

温度制御


環境制御



主な仕様
XY走査範囲
100um(製造寸法公差±10%)
Z走査範囲
9um(製造寸法公差±10%)
XY走査分解能
24ビット制御 0.006nm
Z走査分解能
24ビット制御 0.0006nm
Z軸ノイズレベル
0.05nm(RMS)
6 DAC出力
24ビット 6チャンネル
8 ADC入力
16ビット 8チャンネル
データ点数
最大4096×4096 点
ロックインアンプ
最大6MHz
※2ndロックイン 6MHz(オプション)
インターフェース
USB2.0または3.0
電源
AC100-240V 47-63Hz
OS
WindowsXP,7,8,10
※仕様は予告無しに変更される場合があります
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